四级质谱仪
《真空计 四级质谱仪的定义与规范》意见征求(2020-04-28)
目前,四极质谱仪不仅用于真空中的泄漏检测和残余气体分析,而且还用在工艺和控制过程中提供定量分析的仪器。但由于气体的总压力、混合气体成分、四极质谱仪设置、环境条件等对测量信号及其不确定度和…[详情]
四级质谱仪
《真空计 四级质谱仪的定义与规范》意见征求(2020-04-28)
目前,四极质谱仪不仅用于真空中的泄漏检测和残余气体分析,而且还用在工艺和控制过程中提供定量分析的仪器。但由于气体的总压力、混合气体成分、四极质谱仪设置、环境条件等对测量信号及其不确定度和…[详情]