大角度衍射光学元件
光电所获取大角度衍射光学元件批量化制备新方法(2016-04-27)
中国科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室微光学组在大角度衍射光学元件批量化制备方法研究中取得新进展:提出了一种基于纳米压印技术的大角度衍射光学元件批量化低成本制备新方法。由于纳米…[详情]
大角度衍射光学元件
光电所获取大角度衍射光学元件批量化制备新方法(2016-04-27)
中国科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室微光学组在大角度衍射光学元件批量化制备方法研究中取得新进展:提出了一种基于纳米压印技术的大角度衍射光学元件批量化低成本制备新方法。由于纳米…[详情]