氮含量
《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》即将制订(2019-11-12)
但目前在硅单晶中氮元素的测试方法方面还是空白,无论是红外光谱法还是二次离子质谱法国内目前都尚无相关测试标准,只能借鉴SEMI MF2139-1103进行测试。为此,国家相关机构近期计划制定一项有关于氮…[详情]
氮含量
《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》即将制订(2019-11-12)
但目前在硅单晶中氮元素的测试方法方面还是空白,无论是红外光谱法还是二次离子质谱法国内目前都尚无相关测试标准,只能借鉴SEMI MF2139-1103进行测试。为此,国家相关机构近期计划制定一项有关于氮…[详情]