客户咨询：
激光干涉测量
激光干涉测量技术与仪器项目突破关键技术瓶颈(2019-06-12)
近日，在国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”等项目支持下，清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩研究团队完成的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目，突…[详情]
激光干涉测量
激光干涉测量技术与仪器项目突破关键技术瓶颈(2019-06-12)
近日，在国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”等项目支持下，清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩研究团队完成的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目，突…[详情]