硅基MEMS中试代工平台
国内首套硅基MEMS中试代工平台建立(2016-07-01)
山东淄博成立国内首套“硅基MEMS中试代工平台”,未来将广泛应用于加速度计、陀螺仪、光学MEMS、图像传感器等领域。 日前,由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有…[详情]
山东淄博成立国内首套硅基MEMS中试代工平台(2016-06-30)
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硅基MEMS中试代工平台
国内首套硅基MEMS中试代工平台建立(2016-07-01)
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