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膜压阻
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“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获立项(2013-09-17)
日前，沈阳仪表研究院与沈阳工业大学联合申报的“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获得国家自然科学基金委员会立项批复，项目总经费78万元。…[详情]
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