上海微技术工业研究院携手IMT 推进MEMS传感器发展(2016-05-04)

上海微技术工业研究院（SITRI）日前与美国最大的MEMS技术和制造服务提供商IMT（Innovative Micro Technology）签订战略合作协议，双方携手面向物联网应用MEMS传感器技术创新，共同推进MEMS技术发展。…[详情]

国内首条工厂化非半导体基底材料的MEMS传感器生产线即将诞生(2016-03-11)

随着科技的发展，智能机器人逐步进入了人们的生活。传感器作为机器人的硬件之一，市场随着其发展而持续扩大。…[详情]

中科院地质地球所发明一种MEMS传感器的集成封装方法(2016-01-04)

目前，电子元器件芯片朝着越来越复杂的方向发展，而传统的IC集成器件封装和金属管壳封装都会带来困难。例如MEMS传感器，为了提高其性能，往往需要增加可动质量块的厚度，使用传统的IC集成器件封装技术…[详情]