螺杆型干式真空泵参数化设计软件的开发

英文题名】 The Development of Parameter Design about Dry Screw Vacuum Pump
【作者中文名】 王鑫;
【导师】 徐成海;
【学位授予单位】 东北大学;
【学科专业名称】 流体机械及工程
【学位年度】 2006
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 东北大学
【网络出版投稿时间】 2006-10-25
【关键词】 螺杆型干式真空泵; Solidworks; 参数化设计;
【英文关键词】 dry screw vacuum pump; Solidworks; the parameter design;
【中文摘要】 近年来在半导体工业和液晶显示器制造工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。但由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。为改变这种状况，实现螺杆型干式真空泵的国产化，本文采用参数化设计方法，旨在简化螺杆型无油真空泵的设计和加工过程，使其早日在中国实现产业化，为新兴工业的发展提供清洁的真空环境。 本文首先讨论了目前常用的螺杆型干式真空泵转子类型，给出了几种型线方程，分析了几种型线适用条件；接下来讨论了螺杆泵的泵体结构形式及轴上各零件的选择标准，给出了几种常用的泵体结构和轴类零件供选择。 在开发工具的选择方面，本文首先讨论了目前进行二次开发比较流行的开发平台和开发语言，比较了几种软件的优缺点，最后确定采用VB语言在Solidworks开发平台上进行参数化设计。 ...
【英文摘要】 Recently, in the semiconductor manufacture process, it has high demand of vacuum environment cleanliness. The conventional oil vacuum pump can t meet the condition. Therefore, with wide bound pumping speed, simple structure, friction-free rotor, long life, low energy consumption and oil-free, the dry screw vacuum pump is recognized by more and more companies, it has a important station in the field of oil-free vacuum pump. In many developed countries, such as America, Japan, conventional oil vacuum pump has...
【DOI】 cnki:CDMD:10145.2.2006.5110