新加披发起MEMS第三联盟 促进传感器研发

　　据报道，新加披科技研究局（Agency for Science, Technology and Research，以下简称A*STAR）微电子研究院（Institute of Microelectronics，以下简称IME）发起成立了MEMS第三联盟（MEMS Consortium III）来开发前沿MEMS技术。此举将促进MEMS传感器获得更好的性能、更高的能效和更小的外形。
　　
　　MEMS第三联盟成员包括行业领先的应用材料（Applied Materials）、Coventor、台达电子（Delta Electronics）、格罗方德半导体（GLOBALFOUNDRIES）、应美盛（InvenSense）、SPTS Technologies、Standing Egg、日本真空技术株式会社（ULVAC）、维易科（Veeco）及另一家电子公司。凭借IME在MEMS传感器领域的经验和工艺平台，联盟将共同开发可用于多种产品和应用的工业级惯性传感器和压力传感器，如电子稳定控制系统、资产跟踪、无人机、汽车和可穿戴设备。为实现这一目标，联盟成员将专注于缩小现有工业级惯性传感器和MEMS传感器之间在性能、成本、尺寸方面的差距。
　　
　　印刷电路板上的能量采集器
　　
　　联盟也将开发氮化铝（AlN）调频MEMS惯性测量单元，包含一个3轴加速度计、一个3轴陀螺仪和一个压力传感器，以及氮化铝惯性工艺流程平台和工艺设计套件。与现有MEMS传感器相比，氮化铝MEMS惯性传感器拥有诸多优势，如抗噪、高精度、更好的线性度以及更简单的读出电路设计。凭借更低的成本和更小的封装尺寸，氮化铝MEMS惯性传感器将更符合工业级性能需求。
　　
　　消费类、汽车和工业领域对传感器器件的需求不断增长，传感器行业将面临更复杂的挑战，需要开发具有更多先进功能、更小封装尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和传感器技术的研发对解决上述挑战而言至关重要，也能为各类应用对MEMS器件的大规模采用铺平道路。预计到2018年，全球MEMS市场规模将超过220亿美元。
　　
　　358 MHz氮化铝MEMS振荡器
　　
　　IME及其工业合作伙伴在MEMS第二联盟（MEMS Consortium II）成功开发了具有先进功能并可以量产的MEMS器件，例如一款能量采集器、一款振荡器和一款磁力计。
　　
　　IME的执行董事Dim-Lee Kwong教授表示：“IME在MEMS技术领域所取得的成绩与产业合作密不可分，充分体现了开放式创新对科技进步的驱动作用。我们将研发与产业经验相结合，开发出成本经济的创新型技术解决方案，并将驱动新一代电子器件实现大批量生产和商业化。”

　　（原标题：MEMS第三联盟以加强MEMS技术能力，为工业物联网、汽车和室内导航应用“保驾护航”）