项目 |
指标 | ||
优等品 |
一等品 |
合格品 | |
氩纯度,10-2,≥ |
99.9996 |
99.9993 |
99.999 |
氢含量,10-6,≤ |
2 |
4 |
5 |
氧含量,10-6,≤ |
1 |
1 |
2 |
氮含量,10-6,≤ |
0.5 |
1 |
1 |
总碳含量(以甲烷计),10-6,≤ |
0.5 |
1 |
2 |
水分含量,10-6,≤ |
1 |
2.16 |
4 |
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