项目 |
指标 | ||
优等品 |
一等品 |
合格品 | |
氧纯度,10-2,≥ |
99.999 |
99.998 |
99.995 |
氩含量,10-6,≤ |
2 |
5 |
10 |
氮含量,10-6,≤ |
5 |
10 |
20 |
二氧化碳含量,10-6,≤ |
0.5 |
1 |
1 |
总碳含量(以甲烷计),10-6,≤ |
0.5 |
1 |
2 |
水分含量,露点℃,≤ (10-6) |
-72 (2) |
-70 (2.5) |
-69 (3) |
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