当前位置：全球化工设备网 > 技术 > 论文文集 > 正文

SMC平行密封型门阀XGTP系列

作者： 2018年03月30日来源：全球化工设备网浏览量：

字号：T | T

SMC最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列。产品采用平行密封结构，可对应300mm晶圆。适用于半导体装置的真空工艺腔室与传输腔室之间的密封。◇长寿命：300万次（常温时）???◇低发尘：发尘量减少到1/5以下（与旧型

SMC最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列。产品采用平行密封结构，可对应300mm晶圆。适用于半导体装置的真空工艺腔室与传输腔室之间的密封。

◇ 长寿命：300万次（常温时）

???◇ 低发尘：发尘量减少到1/5以下（与旧型号相比）

???◇ 省气：耗气量减少22%

???◇ 轻量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

平行密封构造

▼门上升、下降的直线动作和门开闭的夹紧采用平行密封（L motion）构造，降低了摩擦系数，可大幅减少发尘量并延长使用寿命。

应用场合

▼半导体加工过程中，针对各工艺腔室之间的隔离。

▼您也可以通过以下视频了解到更详细的产品规格及特性。

以上信息版权归上海维特锐所有，如需详细了解请点击：日本SMC系列产品

全球化工设备网（http://www.chemsb.com ）友情提醒，转载请务必注明来源:全球化工设备网！违者必究.

标签：

分享到：