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微波等离子体的优势有哪些呢

作者： 2018年07月30日来源：全球化工设备网浏览量：

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微波等离子体是在大气压环境下产生的一种微等离子体，它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区，同时也减少了不必要的外空间辐射损失，有利于耦合效率的提高，从

微波等离子体是在大气压环境下产生的一种微等离子体，它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区，同时也减少了不必要的外空间辐射损失，有利于耦合效率的提高，从而获得高密度等离子体。

那么微波等离子体的优势有哪些呢？

1.有较高的电离和分解程度；

2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高，运载气体保持合适的温度。这个特性，在气相沉积的情况下，可使基底的温度不会过高；

3.能在高气压下维持等离子体；

4.没有内部电极，在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，无污染源。等离子发生器可以保持长寿命；

5.等离子可以采用磁约束的方法，约束在约定的空间内，微波结和磁路可以兼容；

6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离，这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小，容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的；

7.微波发生器是稳定的，易控的；

8.微波等离子体，在许多情况下是一种比较宁静的等离子体，不象直流放电那样伴随很高的噪声级。

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