薄膜沉积控制仪需要进行哪些保养工作

作者： 2019年04月29日来源：全球化工设备网浏览量：

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薄膜沉积控制仪在模块化的基础上建立了温度测量薄膜控制系统，可以支持扩展4个输入输出口和探头，实时的频率-温度曲线和500℃操作晶体。该仪器设有快速设定菜单、6个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于

　　薄膜沉积控制仪在模块化的基础上建立了温度测量薄膜控制系统，可以支持扩展4个输入输出口和探头，实时的频率-温度曲线和500℃操作晶体。该仪器设有快速设定菜单、6个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作，用于开发、测试和下载过程的程序，以及用于将仪器数据记录到PC进行过程分析与质量控制的程序的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒10个读数，存储容量可达100个过程、1000层薄膜、50种薄膜材料。

　　操作温度超过1600F/710C时，不能进行测量，否则要损坏仪器，当环境温度低于00C时,PH电极可能会损坏，千万注意,不要超出规定温度范围，把仪器存放在热源附近或在天气炎热的情况下，温度很容易达到或超过1500F，这将导致仪器测量不准。

　　电极更换电极型号，确认薄膜沉积控制仪型号和序列号，以确保选择正确的电极型号，每台仪器都配有相应的电极型号。

　　电极清洗电导/TDS/电阻电导池尽可能保持干净，用足量干净水冲洗电极池可防止杂物聚集在电极上，但是很赃的溶液尤其是含鳞状颗粒的溶液，很容易在电池中沉淀形成薄膜，这降低了测试的精确度，一旦形成油膜或有脏物沉积在电极上，就用普通的无腐蚀清洗剂清洗，并用清水润洗干净，就可以准确测试了。

　　电池的更换：擦干仪器表面，拧开后面四颗螺丝，小心打开后盖，移走后盖，把电池取下，并换上新的9V碱性电池，盖上后盖，拧紧螺丝。因为已安装了不可擦除可读存储器，即使电源断电或更换电池的过程中，存储在记忆器中的记录数据和校正更改设置并不会消失。

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