集成电路测试系统是指在集成电路生产、使用中用于产品电性能参数测试的设备。一般为数字集成电路测试系统、模拟集成电路测试系统和混合集成电路测试系统,混合集成电路测试系统测试对象是混合信号集成电路器件。混合集成电路测试系统的典型结构由数字部分和模拟部分及电源等辅助部分构成。混合集成电路测试系统结构示意图,如图 1 所示:
9月20日,根据国家市场监督管理总局计量司国家计量技术规范制修订计划安排,全国无线电计量技术委员会已完成《混合集成电路测试系统校准规范》征求意见稿。为了使国家计量技术规范能广泛适用和更具可操作性,特向全国有关单位征求意见和建议,征求意见截止时间为 2019 年 11 月 20 日。
《混合集成电路测试系统校准规范》适用于 DC~1GHz 频段混合集成电路测试系统的校准。该项规范的主要内容有范围、引用文件、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、复检时间间隔等。
其中,计量特性包括系统时钟频率、数字通道频率、驱动单元、比较单元、器件电源单元、精密测量单元、波形发生单元、波形数字化单元。校准条件包括环境条件、校准用设备。环境条件要求:1)环境温度:23℃~28℃;2)相对湿度:小于 70%;3)电源电压及频率:(220±11)V、(50±1)Hz;4)周围无影响正常工作的机械振动和电磁干扰。校准用设备有标准电压源、数字多用表、测量接收机、频率计数器、数字示波器、标准电阻器组、信号源、频谱分析仪。
混合集成电路测试系统的校准项目如下表所示:
值得注意的是,对该仪器设备进行校准前需要有校准前的准备,包括检查系统正常工作所配套附件是否齐全。校准之前,仪器应按照仪器说明书要求预热。按系统规定时间预热后,仪器应能正常工作。运行系统自校准程序,系统全部指标均为合格状态。
校准后,出具校准证书。校准证书由封面和校准数据组成。封面由校准机构确定同一格式,校准数据按附录所列数据表格,并可根据被测仪表的情况进行填写。另外,本规范建议仪器的复校时间间隔为1年,由用户根据使用情况自行确定。
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《混合集成电路测试系统校准规范》征求意见稿