川本恒温恒压冷冻机控制系统在MOCVD半导体芯片设备的应用
一、 系统参数
争对深圳一生产LED芯片厂家的现状，现车间有5台MOCVD机、高温烘烤炉、单这退火炉、XRD分析测试机各1台，根据客户需要进行恒温恒压供水设计。
初步设计5台MOCVD机分别由2台40HP和1台20HP制冷系统分别对其进行恒温恒压供水，高温烘烤炉、单这退火炉、XRD分析测试机1台的供水由1台15HP制冷系统进行恒温恒压供水，依据参数设计如下表：
|
设备 |
数量 |
冷水流量(m3/h) |
供水压力 （bar） |
最小压差 （bar） |
进水温度 ℃ |
进水管径 不绣钢 |
所需配 冷水机 |
备注 |
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1#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可调 |
2.76 |
18－20 |
DN25 |
40HP |
水质为 纯净水 |
|
2#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可调 |
2.76 |
18－20 |
DN25 | ||
|
3#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可调 |
2.76 |
18－20 |
DN25 |
40HP |
水质为 纯净水 |
|
4#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可调 |
2.76 |
18－20 |
DN25 | ||
|
5#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可调 |
2.76 |
18－20 |
DN25 |
20HP |
水质为 纯净水 |
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高温烘炉 |
1 |
12 |
2.5 |
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22－25 |
DN50 |
15HP |
水质为 纯净水 |
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单管退火炉 |
1 |
3 |
|
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DN20 | ||
|
XRD |
1 |
0.36 |
4 |
―― |
15－25 |
DN15 |
二、变频恒压供水特点:
1、恒压供水能自动24小时维持恒定压力，并根据压力信号自动启动备用泵，无级调整压力，供水质量好，与传统供水比较，不会造成管网破裂及水龙头共振现象。
2、动平滑，减少电机水泵的冲击，延长了电机及水泵的使用寿命，避免了传统供水中的水锤现象。
3、采用变频恒压供水保护功能齐全，运行可靠，具有欠压、过压、过流、过热等保护功能。
4、系统配置可实现全自动定时供水,彻底实现无人值守自动供水.控制系统具有故障报警和显示功能,并可进行工变频转换,应急供水。
5、系统根据用户用水量的变化来调节水泵转速，使水泵始终工作在高效区，当系统零
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