科研微型真空高低温探针台气敏光学电信号测试

真空腔体

型号

KT-Z165M4LT

类型

高低温型：室温到 400℃ 室温到-190℃

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

135mmX57mmX21mm 容积165ML

腔体重量

约2KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

不锈钢

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

10mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

样品台测温传感器

PT100型热电阻 液氮制冷

样品台温度

室温到 400℃ 室温到-190℃

样品台测温误差

±0.2℃

样品台升温速率

高温20℃/min 最大值 低温7℃/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.2℃

温度信号输入类型

PT100 （可选K S B型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热+液氮流速控制器