等离子表面处理机的简单介绍
该清洗机内置高纯石英仓体,容积为2升,结构为国际上的通用的真空石英法兰密封结构。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空 气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。
等离子表面处理机的详细信息
KT-S2DQX 性能参数 供电电源 | AC220V(AC110V可选) | 工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) | 控制方式 | 触摸屏控制 | 射频电源功率 | 150W(可调) | 射频频率 | 13.56MHz | 频率偏移量 | <0.2MHz | 特性阻抗 | 50欧姆,手动匹配 | 耦合方式 | 电容耦合式 | 真空度 | ≤100Pa | 腔体材质 | 高纯石英 | 腔体容积 | 2.2L(内径110MMX深度240MM) | 观察窗内径 | Φ45 | 气体流量 | 6-60 ml/min 10—100ml/min(其他量程可选) | 过程控制 | 手动设定,自动控制 | 清洗时间 | 手动设定,自动启停 | 开盖方式 | 铰链侧开式法兰 | 气体路数 | 2路质量流量计 | 可通入气体 | 氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体)等
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