设备名称

小型蒸镀仪

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤1200W

输出电压电流

电压≤12V 电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

透明玻璃腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ82 （可安装φ70基底）

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚

预留真空接口

KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口

真空测量

皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）

可选配扩展

1 机械真空泵（≤5Pa（5分钟）

2 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5*10^-3Pa）

3 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）