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智能气体配比器的简单介绍该气体配比器可以外接两种或多种气体，采用CS200或CS100质量流量计，气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头，方便连接且不易泄漏。智能气体配比器的详细信息质量流量计智能气体配比器，可选配七星各种系列流量计，触摸屏控制调节不同时间不同流量气体，操控简单， CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。 ? 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间最快≤ 0.5sec。 ? CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。 质量流量计智能气体配比器
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