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注入式低温泵与闭路循环制冷机低温泵的工作原理

作者:KEHO 来源:原创 2014-09-30 浏览量:678
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注入式低温泵与闭路循环制冷机低温泵的工作原理 ①注入式液氦低温泵:主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6

注入式低温泵与闭路循环制冷机低温泵的工作原理

注入式液氦低温泵:主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6 帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级,故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕,液氦温度可降到2.3K,则可得到更低的极限压力。    

   闭路循环气氦制冷机低温泵:它是70年代出现的新型低温。这种泵不消耗氦气、操作简便,易于维修,应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦,一级冷板温度为50100K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为1020K,用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为50025002/克,在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成,表面抛光达到镜面程度,以减小辐射系数。的极限压力为10-710-8帕,工作压力范围为10-110-7帕,要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒(1=10-33)。此外,尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内,其抽气速率可达到106升/秒以上

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