HatPlant 电镜磁场消除系统（主动消磁器）

产地：广东深圳

规格：个

公司所在地：广东深圳

电话：0755-29045567

详细信息

HatPlant 电镜磁场消除系统（主动消磁器）的简单介绍

HSR2iX系列磁场消除系统通过动态创建几乎相等且方向相反的磁场来稳定电子束相关的设备周围的环境磁场，改善各种电子束、离子束设备周围恶劣的磁场环境，保障设备使用的磁场环境要求。

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产品背景及介绍：

当今的高性能电子束相关的设备对变化的环境磁场非常敏感，比如离子束3D打印设备、电子显微镜、半导体光刻机、等离子切割机。当环境磁场发生变化时，电镜中的电子束会偏转，从而导致打印歪曲偏离、电子显微镜分辨率下降和图像失真。HSR2iX系列磁场消除系统通过动态创建几乎相等且方向相反的磁场来稳定电子束相关的设备周围的环境磁场，改善各种电子束、离子束设备周围恶劣的磁场环境，保障设备使用的磁场环境要求。

HSR2iX系列磁场消除系统由磁传感器感知单元、磁场发生单元、磁场控制单元、显控单元等构成。综合了低噪声磁敏感技术、消磁线圈优化设计技术、磁场自动控制技术，实现了对宽频带杂散磁场的自动跟踪补偿，达到稳定磁场的目的。根据具体用途，HSR2iX系列磁场消除系统具有三种不同型号：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情况可定制）。

产品特色：

1、相比于传统扫频仪，体积更小巧，大屏显示更清晰。

2、全数控，输出频率闭环控制，频偏自动补偿，长期工作无温漂。

3、非等幅扫频，根据检听习惯，调整不同频段的电压增益或衰减。例如把人耳最敏感的中高频适当衰减，减少听觉受损降低疲劳。

4、扫频仪和极性仪完美结合，一台仪器两种功能。

5、带通信接口，可以由电脑远程控制。

产品参数：

型号	HSR2io1	HSR2iO2	HSR2IO3
用途	消除所有类型电子显微镜的交流磁场	消除所有类型电子显微镜的交流和直流磁场	消除半导体洁净室中CDSEM工具的12kHz磁场。也可以消除这些工具的交流和直流磁场
消磁线圏	干扰磁场消除绕组系统自检绕组	固有地磁场消除绕组干扰磁场消除绕组系统自检绕组	固有地磁场消除绕组干扰磁场消除绕组系统自检绕组
待消除磁场	X,Y,Z磁场	X,Y,Z 磁场	X.YZ 磁场
磁场测量类型	AC RMS and pk-pk	Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental	Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental
测量精度	±0.5% Reading ± 100pT	±0.5% Reading ± 1 nT	±0.5% Reading ± 1 nT
磁场动态范围	<60 mG （6.0μT） )	<4.8 μT pk-pk pk-pk	5 μT pk-pk pk-pk
频率带宽	25 Hz 至 3kHz	DC 至 5 kHz	DC 至 12 kHz
噪声限值	<0.7nT RMS(0.1 Hz ~ 3 kHz)	1.5nTRMS(0.1Hz ~ 5 kHz)	0.5 nT RMS(0.1 Hz - 12 kHz)
直流漂移	N/A	< 2 nT/ 24 hours	< 2 nT/ 24 hours
直流磁场限值	N/A	± 200 μT max	± 200 μT max
系统响应时间	10 μs 内	10 μs 内	2μs 内
磁场稳定性	<2 nT/24 h@ (20°C〜25°C,预热0.5 h)
衰减系数	>50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz	>60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz	>60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz

典型应用：

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