激光共聚焦显微镜
激光共聚焦显微镜在膜厚三维形貌测量中是如何提高工作效率的?(2019-05-16)
需要在高度方向上做扫描,得到一系列的切片图,然后进行图像叠加并得到三维图像,从而提高景深范围。相对于传统的光学显微镜,激光共聚焦显微镜其横向分辨率提高40%以上,优秀可达120nm。激光共聚焦显…[详情]
三维激光共聚焦显微镜精确数字化描述(2019-05-10)
常用的磨损表面形貌观察手段有体视显微镜、扫描电镜,但不具备表面形貌特征的数字化描述功能;常用的粗糙度测量手段有干涉仪、粗糙度仪等,但是不能对磨损表面形貌进行观察。先进的磨损表面形貌分析、…[详情]
采用激光共聚焦显微镜可以获取媲美SEM的显微图像(2019-03-25)
激光共聚焦显微镜可用来观察样品表面亚微米级别的三维轮廓形貌,也可以测量多种微几何尺寸,像晶粒度、体积、膜深、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等。激光共聚焦相比于其他测量手段有其独特的优势…[详情]