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预处理真空烘箱

HMDS预处理真空烘箱在半导体行业的应用(2019-07-02)

一、预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，而涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺显得更为必要，尤其在所刻线条比较细的时候，任何一个环节出现一…[详情]

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