半导体厂废气处理工艺

    （一）酸碱性废气

    工艺流程：酸/碱性废气→酸/碱式洗涤塔→离心风机→烟囱（达标排放）

    设备介绍

    洗涤塔的工作原理：洗涤塔的结构型式分为立式和卧式。

    立式洗涤塔的工作原理为气液两相逆流接触；含酸碱污染物的废气由塔下部进口进入塔内向上运动，通过单层或多层填料，废（尾）气与液相充分接触后吸收或中和，干净的气体经过上层的除雾层排出，从而达到吸收和净化效果。

    卧式结构的工作原理为气液两相交叉流接触，废（尾）气通过填料层段时与液相充分接触后吸收或中和，从而达到吸收或净化的效果。

    设备本身包含有洗涤塔本体、填料层、除雾层、循环水管路，及循环水箱等。

    （二）有机类废气VOCs

    1、工艺流程

    工作原理：待处理的有机混合废气经引风机作用，先经过预处理过滤装置去除废气中的粉尘及杂质部分，否则直接吸附会堵塞沸石的微缩孔，从而影响吸附效果甚z失效，经过初步过滤后相对纯净的有机废气进入沸石转轮吸附装置进行吸附净化处理，有机物质被转轮沸石特有的作用力截留在其内部，洁净气体排出，经过一段时间吸附后，沸石转轮达到饱和状态，转轮按照一定的速度（每小时1-3转）自动转动进入冷却和高温脱附区域。

    沸石转轮脱附出来的高浓度废气直接进入TO直燃式焚烧炉进行焚烧净化处理，废气焚烧后的炉膛燃烧室高温气体与内部热交换器进行热交换预热进来的脱附废气，使脱附废气换热后温度控制在300-350℃左右进入燃烧室燃烧，燃烧后经内部换热器降温后进入尾部二级烟气余热利用装置，d一级余热利用装置用于脱附，升温后的洁净气体进入转轮脱附区用于脱附，沸石中的有机物受到热空气加热后从沸石中挥发出来，此时脱附出来的废气属于浓度高、风量小、温度高的有机废气再进入二级烟气余热利用装置用于将废气温度二次提高，进入TO焚烧炉焚烧处理，再次降低TO焚烧炉焚烧的运行成本。做到真正的节能、环保。同时整套装置安q、可靠、无任何二次污染。