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微型真空探针台 气敏光学电信息测试的简单介绍

微型真空探针台是一种用于测试光学电信号的设备,它具有体积小、重量轻、操作简便、可重复使用等优点,广泛应用于半导体、太阳能等领域

微型真空探针台 气敏光学电信息测试的详细信息

微型真空探针台是一种用于测试光学电信号的设备,它具有体积小、重量轻、操作简便、可重复使用等优点,广泛应用于半导体、太阳能等领域。本文将详细介绍微型真空探针台的结构、工作原理、操作方法以及应用领域。

技术参数;

真空腔体

类型

高温型室温到400 KT-Z165M4RT

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

135mmX57mmX21mm 容积165ML

腔体重量

2KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

腔体抽气口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵5Pa 5分钟 分子泵≤5E-3Pa30分钟

样品台

样品台材质

不锈钢

样品台尺寸

30x30mm

样品台加热方式

电阻加热

样品台-视窗 距离

10mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400

样品台测温误差

±0.2

样品台升温速率

高温20/min 最大值 低温7/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.2

温度信号输入类型

PT100 可选K S B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

温控器尺寸

32cmX170cmX380cm

温控器重量

5.6KG

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 选其一

线长1.2

电学性能

绝缘电阻 4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 10pA

探针数量

4探针(可扩展6探针)

探针材质

钨合金探针 (其他材质可选

探针尖

50μm (其他规格可选

手动探针移动平台

X轴移动行程

15mm ±7.5mm(需手动推动滑台)

X轴控制精度

500μm

R轴移动行程

120° ±60°(需手动旋转探针杆)

R轴控制精度

500μm

Z轴移动行程

2mm ±1mm

Z轴控制精度

50μm(需手动螺纹调节探针杆)

微型真空探针台主要由针头、真空室、控制系统和测量系统等组成。针头是探针台的核心部件,它由一组金属针组成,可以实现对样品的精确测量。真空室是用于放置样品的容器,它必须能够保持高真空状态,以确保测试的准确性。控制系统用于控制探针台的各项操作,包括针头的移动和样品的放置等。测量系统则用于测试样品的性能,包括光学和电学性能等

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