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等离子表面处理机

等离子表面处理机

产地：

规格：台

公司所在地：河南郑州

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详细信息

等离子表面处理机的简单介绍

该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升，结构为国际上的通用的真空石英法兰密封结构。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。

等离子表面处理机的详细信息

KT-S2DQX 性能参数

供电电源

AC220V（AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

控制方式

触摸屏控制

射频电源功率

150W（可调）

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

＜0.2MHz

特性阻抗

50欧姆，手动匹配

耦合方式

电容耦合式

真空度

≤100Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2.2L(内径110MMX深度240MM)

观察窗内径

Φ45

气体流量

6-60 ml/min 10—100ml/min（其他量程可选）

过程控制

手动设定，自动控制

清洗时间

手动设定，自动启停

开盖方式

铰链侧开式法兰

气体路数

2路质量流量计

可通入气体

氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体）等


以上是等离子表面处理机的详细信息，如果您对等离子表面处理机的价格、厂家、型号、图片有任何疑问，请联系我们获取等离子表面处理机的最新信息
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