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等离子清洗机 样品表面处理机的简单介绍

KT-S2DQX型等离子清洗机属于13.56MHz的射频电源清洗。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业

等离子清洗机 样品表面处理机的详细信息

KT-S2DQX型等离子清洗机属于13.56MHz的射频电源清洗。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

该清洗机内置高纯石英仓体,容积为2升,结构为国际上的通用的真空石英法兰密封结构。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空 气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别适用科学实验 样品清洗 和教学。


全自动控制使用方便 更长

操作 标准

快速定制 高效

使用 多功面板

高质 直观

高纯石英腔体减少样品污染 可定时功能,时间更精准

射频屏蔽 安全可靠无辐射 紧急停止,应对各种突发情况

大口径观察窗口一目了然


2KT-S2DQX 性能

供电电源

AC220VAC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

控制方式

触摸屏控制

射频电源功率

150W(可调)

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合式

真空度

≤100Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2.2L(内径110MMX深度240MM)

观察窗内径

Φ45

气体流量

6-60 ml/min 10—100ml/min(其他量程可选)

过程控制

手动设定,自动控制

清洗时间

手动设定,自动启停

开盖方式

铰链侧开式法兰

气体路数

2路质量流量计

可通入气体

氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体)等



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