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KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪

产地：

规格：台

公司所在地：河南郑州

电话：15515545802

2262792302  
详细信息

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪的简单介绍

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪的详细信息

小型溅射仪

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。

设备名称

小型溅射仪

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

工作电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V 电流≤500mA

真空

机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤10Pa

挡板类型

电控

真空腔室

玻璃罩+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ82 （可安装φ70基底）

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）

预留真空接口

KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口

水冷接口

有（配备自循环水冷机）


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