激光干涉测量技术与仪器项目突破关键技术瓶颈

作者： 2019年06月12日来源：全球化工设备网浏览量：

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近日，在国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”等项目支持下，清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩研究团队完成的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目，突破一系列关键

激光干涉测量指以激光为光源，以激光波长或激光频率为基准，利用光的干涉原理进行精密测量的方法，具有非接触测量、灵敏度高和精确度高的优点。激光干涉测量仪器一般用于位移、长度、角度、面基、介质折射率的变化等方面的测量，常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪、马赫-泽德干涉仪、菲索干涉仪、泰曼-格林干涉仪等

　　激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一，在许多领域都有极其重要的作用。近日，在国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”等项目支持下，清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩研究团队完成的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目，突破一系列关键技术瓶颈，形成了测量新方法、系统及仪器。

　　据李主任介绍，项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨率激光干涉测量系统。目前，该项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统已经应用到了我国自研光刻机工件台样机研发过程中，累计应用50余台套。该研究成果满足了光刻机双工件台样机的精密测量需求，减轻了对国外高端干涉仪的依赖，降低了其产品对我国出口限制所造成的研发风险，对保障我国光刻机双工件台研发的顺利实施起到了积极作用。

　　此外，项目开发的亚纳米分辨率可溯源外差干涉仪，也应用到了激光多维测量系统研究与开发的比对检定研究中。亚纳米分辨率可溯源外差干涉仪能够找出了激光多维测量系统非线性误差原因，并用专门的电路加以校正，提高了相关单位激光多维测量系统的性能。开发团队所提出的可溯源干涉测量新方法，为摩尔单位采用阿伏伽德罗常数重新定义作出了贡献。

　　值得一提的还有，在过去，我国没有掌握研发高端激光干涉测量仪器的核心技术，但该项目的成功一举打破了外国对我国高端激光干涉测量仪器的限制和垄断，丰富了我国激光干涉测量理论与技术，这意味着往后我国高端装备和仪器的研发将拥有性能稳定且不受制于外国的测量及溯源能力。总而言之，该研究成果具有非常重要的技术、经济和社会效益。

　　激光干涉测量技术是保障可溯源纳米测量的重要途径，也是推动我国迈向计量强国、制造强国的关键计量测试技术。相信随着研发团队的继续深入研究，我国的激光干涉测量技术还会不断进步，为我国带来更多的效益。

　　资料来源：科技日报

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标签：激光干涉测量双频激光干涉仪光刻机双工件台

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